
油箱尺寸 | W400×D400×H400㎜〜W800×D800×H800㎜ | |
性能表现 | 极限压力 |
×10 1 Pa(油旋转真空泵) ×10 ‒4 Pa(涡轮分子泵) |
加热温度范围 | 100℃〜400℃ | |
Globe Box的露点 | -65℃以下(约4ppm) | |
组成 | 排气系统 | 油旋转真空泵 |
油旋转真空泵+涡轮分子泵 | ||
加热系统 | 外墙加热(180°C或更低)或内部搁板加热(500°C或更低) | |
温度控制 | 带温度控制器的PID控制 | |
架子数 | 3-4 | |
操作方法 | 全自动/手动操作 |
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